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生産現場が挑む“常識破り”の革新的省エネ

2007年09月21日 23:00

■省エネ工場新設でCO2を大幅に削減したセイコーエプソン
従来の工場に比べ、二酸化炭素(CO2)排出量を約6割削減――。工場新設にあたり、徹底的に省エネ技術を導入し、大きな成果を上げた例がある。大型液晶テレビ向けパネルを生産する、セイコーエプソン千歳工場だ。

同社では従来、液晶パネルに使うウエハー(ICチップの製造に使用する半導体の薄い基板)を加熱処理する際には、20枚程度のウエハーを一括処理していた。しかし、一度に20枚もの大量処理を行うにはクリーンルームを備えた大型の設備と多くのエネルギーが必要となる。そこで、1枚ごとの処理に切り換えるのと同時に、エネルギー使用量の多いクリーンルームを、室内全体を高清浄域にする全面ダウンフロー方式から必要な場所だけ清浄する局所清浄化方式へと変更した。「ミニエンバイロメント空調」を導入し、それまでクリーンルームの室内をすべて浄化処理していたのを、ウエハーと接する場所だけを部分浄化する方式に変え、低コスト化と省エネを同時に実現したのだ。

同工場では、ウエハー生産設備の見直しに加え、天然ガスの利用や建物の断熱性能の向上なども施すことにより、工場の建設から運用、閉鎖までのライフサイクル全体を通したCO2排出量が、同様の液晶パネルを生産する諏訪南事業所「E2棟」と比べて約6割減少するとの試算結果が出た。

セイコーエプソンは、これ以外にも、生産工程でさまざまな省エネ技術革新を進めている。その結果、実現した技術の一つが、プリンタなどで利用されているインクジェットを応用した「液体成膜技術」である。

(2007/09/21 日経BP)
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